氦质谱检漏仪的进展
(1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。氦质谱检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa,灯丝不易被氧化脆断。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的,掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的资料,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询,科创真空竭诚为您服务!
氦质谱检漏仪
氦罩法
这种方法使用一个检漏罩(塑料薄膜等)把被检容器包起来,先排除罩内空气,然后充入氦气或氦气的混合气体,检漏仪与被检容器内部连接,当检漏仪有漏率显示时,说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和;总漏率不超标准值,则各个分漏率也不超标准值;总漏率超过标准值,则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补,直至达到合格标准为止。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
大型压力容器在检漏时,经常使用辅助真空系统(辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵,真空管道,三通,真空计,真空阀门,放气阀门等组成)来进行预抽真空,真空度达到一定值时,关闭辅助真空系统,或使用真空切换阀,再开启检漏仪来进行检漏。
检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。
2 本底信号不稳定
1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。
2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,检漏仪应有可靠的接地。
3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。